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4H-SiCウエハの加工研磨の最適化(3)をアップロードしました。

松畑洋文

高価な4H-SiCウエハの加工研磨について、簡単なモデルを用いて定性的な議論及び考察を連載で行っています。ウエハの3段工程での、全加工研磨時間と消耗品費について考察しました。ウエハの加工研磨工程の最適化に興味を持つ人向けの内容です。

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