連載(6)から、n–ドリフト層中に侵入してくる基底面転位にはどのようなものがあるのかを考察しています。n–ドリフト層の下側、つまり[0001]方向から入ってくる基底面転位、L字状、逆L字状界面転位、界面転位がばら撒くU字状転位について考察・整理しました。連載(7)では、n–ドリフト層の上側、つまり[0001]方向から入ってくるかもしれない基底面転位、n–ドリフト層中で発生する基底面転位、n–ドリフト層の側面から侵入してくるかもしれない基底面転位について考察・整理します。
〜 イノベイティブな半導体、エレクトロニクス、エネルギー技術のソルーション 〜
Innovative Semiconductors, Electronics, & Energy Solutions
カテゴリー一覧
