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コラム 解説

増殖・成長する積層欠陥とMOSFETの特性劣化(5)をアップロードしました。

増殖・成長する積層欠陥とMOSFETの特性劣化の連載の5回目をアップロードしました。連載のこの回では、それぞれ6つの異なるバーガース・ベクトルを持つ基底面転位が、2種類の異なるすべり面上にある場合、それぞれ異なる方向を向いた時にどのような形状の積層欠陥が、どのように成長するかを整理しました。

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