月: 2025年4月
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4H-SiCウエハの加工研磨の最適化(2)をアップロードしました。
4H-SiCウエハの加工研磨工程について連載で考察しています。高性能化した加工研磨装置の使い方の組み合わせについての考察です。連載(2)では2段研磨工程での運用の最適化について簡単なモデルで議論しまし… 続きを読む →
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4H-SiCウエハの加工研磨の最適化 (2)
〜 2段研磨の最適解についての考察 〜2-1. はじめに SiCウエハの加工研磨工程を統合化した場合の、最適の組み合わせについて考察しています。前回の説明では、2段研磨での、最適条件を導きました。そして、2段研磨についての考察の途中で話が… 続きを読む →
