月: 2024年3月
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増殖・成長する積層欠陥とMOSFETの特性劣化(4)をアップロードしました。
増殖・成長する積層欠陥とMOSFETの特性劣化の連載の4回目をアップロードしました。この連載を進める上で必要になる基礎的な知識、4H-SiCでの基底面転位の構造について、連載(3)では整理しました。連… 続きを読む →
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増殖・成長する積層欠陥とMOSFETの特性劣化 (4)
〜 基底面転位からのショックレー型積層欠陥の湧き出し1 〜はじめに この解説文は、4H-SiCの順方向特性劣化現象に興味を持っている研究者を想定して書いています。この現象は特に4H-SiCの格子欠陥と密接な関係にあります。SiCパワーエレクトロニクス研究者に… 続きを読む →
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増殖・成長する積層欠陥とMOSFETの特性劣化(3)をアップロードしました。
増殖・成長する積層欠陥とMOSFETの特性劣化の連載の3回目をアップロードしました。 この連載を進める上で必要になる基礎的な知識、4H-SiCの基底面転位についての説明を連載(1)-(3)でしています… 続きを読む →
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増殖・成長する積層欠陥とMOSFETの特性劣化 (3)
〜 基底面転位ループのバリエーション 〜はじめに この解説文は、4H-SiCの“順方向特性劣化”に興味を持っている人を対象に書いています。SiCパワーエレクトロニクス研究者にとってはそれなりに興味のある内容だと思われますが、少し細かい話を詳… 続きを読む →