月: 2023年4月
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放射光トポグラフ法の連載(9)をアップロードしました
放射光トポグラフ法の連載(9)をアップロードしました。フランク型積層欠陥、フランク型部分転位のコントラスト、見え方について解説しました。 続きを読む →
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放射光トポグラフ法の利用 (9)
〜 フランク型積層欠陥について 〜この連載記事は、半導体中の格子欠陥の解析評価に興味を持つ人を対象に連載記事として書いています。前回は、4H-SiC中のショックレー型部分転位と、ショックレー型積層欠陥のコントラストについて記述し、ショ… 続きを読む →
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放射光トポグラフ法の連載(8)をアップロードしました
放射光トポグラフ法(8)の解説記事をアップロードしました。結晶性材料を産業化する際に格子欠陥が問題になる時に使える技術かもしれません。 続きを読む →
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放射光トポグラフ法の利用 (8)
〜 積層欠陥のコントラストルールとステルスな積層欠陥 〜この連載記事は、半導体の格子欠陥の解析評価に興味を持つ人を対象に連載記事として書いています。前回から引き続き、4H-SiC中のショックレー型部分転位と、ショックレー型積層欠陥のコントラストについて説明… 続きを読む →
