月: 2023年1月
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放射光トポグラフ法の利用 (3)
〜 4H-SiCの転位の整理 〜放射光X線トポグラフ法を用いた格子欠陥の観察や解析についての解説文を書くことが目的なのですが、その前段階として、4H-SiCの中にある転位についての知識を簡単に整理しておきます。前回のその(2)では転… 続きを読む →
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