近頃巷を賑わす、2nmノードの半導体について、これまでのSi LSI微細化の流れを振り返りながら、背景にある設計思想を考えてみました。 続きを読む →

放射光を用いたX線トポグラフ法についての解説記事の連載その(4)をアップロードしました。低角で表面にX線を入射させ、回折X線を利用して格子欠陥を観察する手法そのものを簡単に説明しました。 続きを読む →

放射光を使ったX線トポグラフ法は、使う目的によっては利用価値があると思っています。この方法についての解説記事を連載で書いています。格子欠陥の評価に興味があるかたは、読んでいただくとありがたいです。 続きを読む →

歴史に刻まれるであろう2022年の年末に、牛のゲップが地球温暖化をもたらすというニュースからめぐらした想像を書き留めておきました 続きを読む →

4H-SiCのウエハ、エピ層、パワーデバイス中の格子欠陥を放射光X線トポグラフで観察することについての解説記事を連載で書いています。連載その(2)を投稿しました。興味がある方は読んでみてください。 続きを読む →