新着情報
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ホームページデザインを変更
本組合のホームページのデザイン・構成を一部変更致しました。これにより、フロントページ以外のURLが一部変更になったものがあり、記事ページ等に直接リンクを張られている場合には再設定が必要となりますので、… 続きを読む →
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SiCエピ欠陥のSEM像の記事をアップ
4H-SiCウエハのエピタキシー層の表面を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察すると、エピ欠陥と呼ばれている色々な欠陥を観察することができます。エピ欠陥は4H-SiCパワーデバイスの歩留まりに大きな影響を… 続きを読む →
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4H-SiCの積層欠陥の記事をアップ
4H-SiCウエハは現在でもある程度の密度の積層欠陥を含んでいます。基底面に載っている積層欠陥について、それらの種類や解析方について整理してみたいと思います。回折的な手法では観察することができない積層… 続きを読む →
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R&Dロードマップの課題の記事をアップ
昨今、各種の技術開発において「ロードマップ」が活用されていますが、人によってその解釈が違ったりしてよく誤解のもととなっています。そこで今回、一般的な技術開発ロードマップにおける問題点やその解消策を考察… 続きを読む →