新着情報
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ホームページデザインを変更
本組合のホームページのデザイン・構成を一部変更致しました。これにより、フロントページ以外のURLが一部変更になったものがあり、記事ページ等に直接リンクを張られている場合には再設定が必要となりますので、… 続きを読む →
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SiCエピ欠陥のSEM像の記事をアップ
4H-SiCウエハのエピタキシー層の表面を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察すると、エピ欠陥と呼ばれている色々な欠陥を観察することができます。エピ欠陥は4H-SiCパワーデバイスの歩留まりに大きな影響を… 続きを読む →