記事
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R&Dロードマップについての一考察 (4)
〜 技術の分解･統合と技術階層 〜前回の記事においては、従前のロードマップ議論では少々耳慣れない「技術成熟度」の意味を取り上げた。昨今、特に科学技術が複雑化･複合化しているトレンドがあり、今回はその観点から「技術階層」とそのR&am… 続きを読む →
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R&Dロードマップについての一考察 (3)
〜 実用化に向けた技術成熟度の意味 〜前回の記事では、R&Dロードマップ検討に必要な「技術成熟度」、「技術世代」を取り上げた。今回は「技術成熟度」の具体的意味を技術実用化の観点から議論する。 技術成熟度として、NASAによる９… 続きを読む →
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SiCエピタキシー欠陥のSEM観察 (4)
〜 SiCエピタキシー層中のキャロット状欠陥の構造 〜前回まで エピ層成長中に生成する欠陥やエピ層膜表面で観察される欠陥のSEM像の紹介を行いました。今回”その(4)“でエピ層欠陥のSEM像紹介のシリーズは終了です。今回は、キャロットと呼ばれている特殊な… 続きを読む →
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SiCエピタキシー欠陥のSEM観察 (3)
〜 鈍角三角形欠陥、マイクロピット、マイクロパイプ 〜“その(1)”では主に格子欠陥がエピ層表面で終端する際に形成される表面モフォロジーについて紹介しました。”その(2)”では、何らかのきっかけで4H-SiCのエピ層成長中に局所的に3C構造を持つエピ欠陥… 続きを読む →
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R&Dロードマップについての一考察 (2)
〜 技術成熟度と技術世代 〜「(1) 標準的ロードマップの解釈上での課題」では、世の中で議論されている標準的ロードマップの問題点を指摘し、単純な「特性指標」よりむしろ「技術成熟度」、「技術世代」に注目すべきスタンスを… 続きを読む →
