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4H-SiCウエハの加工研磨の最適化(2)をアップロードしました。

松畑洋文

4H-SiCウエハの加工研磨工程について連載で考察しています。高性能化した加工研磨装置の使い方の組み合わせについての考察です。連載(2)では2段研磨工程での運用の最適化について簡単なモデルで議論しました。このモデルは、全加工研磨時間は加工変質層の厚みに依存するというモデルです。

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