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コラム 解説

増殖・成長する積層欠陥とMOSFETの特性劣化(9)をアップロードしました。

連載(9)では、界面転位が発生した場合、界面転位の表面終端部がばらまいたU字状転位が存在している場合、貫通刃状転位のドリフト層中での折れ曲がりが発生した場合、などが原因で積層欠陥が成長する場合に、どのような形状の積層欠陥が観察されるかを考察します。

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