アイシーソルーションズ, LLP

“増殖・成長する積層欠陥とMOSFETの特性劣化”の連載の6回目をアップロードしました。前回までの連載では、基底面転位のバーガース・ベクトル、基底面転位が存在している四面体層、基底面転位の向き、に依存して成長するショックレー型積層欠陥の形状が異なっていることを整理しました。連載のこの回と、次の回では、どのような基底面転位がn^–ドリフト層中に存在しているのかを整理します。順方向特性劣化に興味がある方はぜひご覧ください。