アイシーソルーションズ, LLP

4H-SiCの基板やエピ層中にはフランク型積層欠陥と呼ばれている格子欠陥が含まれています。この積層欠陥がどういう欠陥なのかをこの連載では考察しています。前回は、四面体層１層が余剰に挿入され、さらにショックレー変位が無いフランク型積層欠陥を考察しました。今回は、四面体層１層が余剰に挿入され、さらにショックレー変位を伴うフランク型積層欠陥を考察しました。興味があるかたはご覧ください。